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芯明天直驅機構式壓電納米定位臺 XP-63X壓電納米定位臺為壓電陶瓷直驅X軸運動定位臺，內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷，采用無摩擦柔性鉸鏈導向機構，具有剛度大、分辨率高、響應速度快等特點，可以通過自由組合的方式組成二維XY、三維XYZ納米定位臺。《查看更多》

XP-62X系列壓電納米定位臺是采用封裝型壓電促動器直接驅動，具有大承載、響應速度快、可靠性高和使用壽命長等優(yōu)點。內(nèi)置高分辨率SGS傳感器進行全閉環(huán)運動控制，高諧振頻率和大拉力使得該系列納米定位臺適用于精密加工等領域。《查看更多》

P63芯明天壓電納米定位臺直驅機構式 為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元仿真分析優(yōu)化，柔性導向系統(tǒng)具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無摩擦、免維護等特點。壓電定位臺具有良好的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結構緊湊易于集成。《查看更多》

芯明天直驅機構式壓電納米定位臺位移行程可達100μm，該型號產(chǎn)品體積小巧，結構緊湊，壓電驅動、無摩擦、柔性導向系統(tǒng)，實現(xiàn)納米級分辨率和毫秒的響應時間。《查看更多》