P16壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，機構(gòu)放大設計原理，中心通孔孔徑為20mm，該系列掃描臺有50μm與100μm兩種規(guī)格行程 可選，開環(huán)閉環(huán)可選。方形移動臺面，便于與外部機械結(jié)構(gòu)安裝連接。 P16壓電掃描臺典型應用 • 顯微成像 • 表面檢測 • 干涉/計量 • 精密定位 • 光學 • 微操作 應用實例 P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點，應用于光 路調(diào)整實驗中，帶載大鏡架做XY軸精密運動。 P16壓電掃描臺特性 •zui大位移100μm • zui大承載1.5kg • 通孔尺寸：Ø20mm • 閉環(huán)重復定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選 剛度大、諧振頻率高、負載能力大 P16系列壓電掃描臺，采用機構(gòu)放大設計原理，內(nèi)置高性 能壓電陶瓷，兩個規(guī)格型號掃描臺分別可實現(xiàn)50μm與100μm 的運動行程，一體式結(jié)構(gòu)設計XY軸運動無耦合，優(yōu)異的結(jié)構(gòu) 可以承載1.5kg的負載，空載諧振頻率達400Hz。 P16.XY100版本為中心對稱運動方式，需配套帶有一通道 恒壓的三通道壓電控制器。 P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm，該系列壓電 掃描臺以其小體積、大負載、高動態(tài)等特性廣泛應用于顯微成 像等領域。 P16壓電掃描臺技術參數(shù)： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P16.XY50S P16.XY50K | P16.XY100S P16.XY100K | 單位 | 運動自由度 | X、Y | X、Y | | 標稱行程范圍（0~120V） | 40/軸 | 80或±40/軸 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 55/軸 | 100或±50/軸 | μm±20% | 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- | | 通孔尺寸 | Ø20 | Ø20 | mm | 閉/開環(huán)分辨率 | 10/5 | 10/5 | nm | 閉環(huán)線性度 | 0.4/- | 0.4/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動 | <20 | <25 | µrad | 推/拉力 | 30/10 | 30/30 | N | 運動方向剛度 | X0.5/Y0.5 | X0.5/Y0.5 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | X200/Y200 | X400/Y400 | Hz±20% | 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10/0.8 | 10/1.6 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | 100 | Hz±20% | 行程 | 20 | 40 | zui大承載 | 1.5 | 1.5 | kg | 靜電容量 | 1.8/軸 | 3.6/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 | | 重量 | 200 | 220 | g±5% |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。 |
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