特性 • zui大位移68μm • 亞毫秒響應(yīng)時(shí)間 • zui大承載5kg • 1~3維自由組合 • 重復(fù)定位精度可達(dá)0.05%F.S. 1~3維平移臺(tái) XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)可通過(guò)轉(zhuǎn)接板連接， 組成XY，XZ，XYZ多種運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)。 多種規(guī)格型號(hào)可選。 柔性鉸鏈采用精密線(xiàn)切割技術(shù)。 產(chǎn)品外觀 
直驅(qū)機(jī)構(gòu)式驅(qū)動(dòng)示意圖 
小體積、高精度、響應(yīng)速度快 XP-63X系列壓電納米定位臺(tái)其*的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，具有大機(jī)械剛度、大承載、更高的空載諧振頻率等特點(diǎn)。負(fù)載情況下也具有很高的使用頻率，響應(yīng)時(shí)間可 以實(shí)現(xiàn)亞毫秒級(jí)。例如XP-630帶動(dòng)20g負(fù)載，響應(yīng)時(shí)間僅為5ms。 XP-63X系列產(chǎn)品體積小巧，XP-630一維尺寸僅為60×45×18mm，易于與其他平臺(tái)設(shè)備集成。 閉環(huán)版本配置應(yīng)變傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)位置信號(hào)并反饋給閉環(huán)控制器，控制器通過(guò)PID算法對(duì)檢測(cè)到的位置信號(hào)進(jìn)行修正，從而實(shí)現(xiàn)納米級(jí)的精密定位。 傳感器類(lèi)型 
頻率負(fù)載曲線(xiàn) 
應(yīng)用 • 半導(dǎo)體技術(shù) • 納米壓印 • 納米計(jì)量 •微操控 • 納米光刻 •干涉法/ 掃描顯微/納米定位 •生物技術(shù) •質(zhì)量保證測(cè)試 •微加工/精密控制 應(yīng)用實(shí)例：宏微復(fù)合機(jī)構(gòu) 采用XP-633壓電納米定位臺(tái)帶動(dòng)探針作精密位移定位檢測(cè)控制，從而完成1mN的精確力控制實(shí)驗(yàn)。 |
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