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產(chǎn)品名稱:XD770.300S大負(fù)載壓電納米定位臺

產(chǎn)品型號:

產(chǎn)品報(bào)價(jià):

產(chǎn)品特點(diǎn):XD770.300S大負(fù)載壓電納米定位臺,在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運(yùn)動控制,且應(yīng)用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。

更新日期:2025-02-24

XD770.300S大負(fù)載壓電納米定位臺的詳細(xì)資料:

XD770.300S大負(fù)載壓電納米定位臺

壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,可集成于各類高精密裝備,為其提供納米級運(yùn)動控制,且應(yīng)用非常廣泛,例如顯微掃描、光路調(diào)整、納米操控技術(shù)、激光干涉、納米光刻、生物科技、光通信、納米測量、顯微操作、納米壓印等。隨著科技不斷進(jìn)步,精密定位技術(shù)對于定位系統(tǒng)的行程、負(fù)載、精度要求也不斷攀升,哈爾濱芯明天科技有限公司持續(xù)加強(qiáng)技術(shù)實(shí)力和研發(fā)能力,不斷攻克技術(shù)壁壘,提升產(chǎn)品性能,以滿足對大行程、大負(fù)載、高精度的應(yīng)用要求。

此次為大家介紹的是一款具有大行程、大負(fù)載特點(diǎn)的一維壓電納米定位臺,型號為XD770.300S,尺寸為(130×100×33)mm^3,實(shí)物外觀如下圖所示。


圖片



XD770.300S大負(fù)載壓電納米定位臺

Z向運(yùn)動,大負(fù)載、大行程

XD770.300S壓電納米定位臺為Z軸方向的運(yùn)動平臺,行程可達(dá)300μm,負(fù)載可達(dá)5kg,實(shí)現(xiàn)行程范圍和負(fù)載能力的雙提升,為同時(shí)有大行程、大負(fù)載應(yīng)用需求提供了優(yōu)質(zhì)的解決方案。配合芯明天壓電控制器,分辨率高、響應(yīng)速度快。



圖片

配置閉環(huán)傳感,更高精度


XD770.300S壓電納米定位臺內(nèi)部配置有閉環(huán)傳感器,反饋可體現(xiàn)精確位置的電信號,可對壓電納米定位臺的運(yùn)動位置進(jìn)行實(shí)時(shí)調(diào)整,提供更高的精度。經(jīng)過實(shí)測,它的線性度可達(dá)0.08%F.S.,重復(fù)定位精度可達(dá)0.02%F.S.。

線性度
正向線性度(%F.S.)
0.056%
反向線性度(%F.S.)
0.073%
雙向線性度(%F.S.)
0.073%
重復(fù)度
正向重復(fù)度(%F.S.)
0.011%
反向重復(fù)度(%F.S.)
0.009%
雙向重復(fù)度(%F.S.)
0.017%




緊湊尺寸,多孔安裝


XD770.300S壓電納米定位臺在具有大承載的情況下,體積并未有過大的增加,反而很緊湊。在它的移動上表面,具有16個(gè)負(fù)載安裝孔,非常便于負(fù)載的安裝。圖片



技術(shù)參數(shù)


型號
XD770.300S
運(yùn)動自由度
Z
驅(qū)動控制
1路驅(qū)動、1路傳感
標(biāo)稱行程范圍(0~120V)
240μm
行程范圍(0~150V)
300μm
傳感器
SGS
閉環(huán)分辨率
10nm
線性度
0.08%F.S.
重復(fù)定位精度
0.02%F.S.
俯仰/偏航/滾動
<15μrad
空載諧振頻率
380Hz
帶載5kg諧振頻率
110Hz
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間
300/10ms
承載能力
5kg
靜電容量
43.2μF
工作溫度
-20~80℃
材質(zhì)
鋼、鋁
重量
2kg




推薦控制器


XD770.300S壓電納米定位臺可使用芯明天E53.D系列壓電控制器驅(qū)動,它是單通道壓電控制器,可通過模擬輸入控制或上位機(jī)軟件控制。具有體積小、易集成等特點(diǎn)。

圖片

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