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通常情況下，壓電納米定位臺(tái)被設(shè)計(jì)用于室溫環(huán)境。但仍有很多用戶需要真空環(huán)境下使用壓電納米定位臺(tái)。例如，當(dāng)研究需要基于真空條件時(shí)，就需要構(gòu)建一個(gè)相應(yīng)的真空實(shí)驗(yàn)環(huán)境，相應(yīng)精密定位用的壓電納米定位臺(tái)就需要工作在真空環(huán)境下。既要保證壓電納米定位臺(tái)在真空環(huán)境下正常工作，同時(shí)壓電納米定位臺(tái)要保證不會(huì)因自身磨損、漏氣或產(chǎn)生過多熱量，從而避免對真空環(huán)境的真空度造成不利影響，如改變真空度等。

根據(jù)真空度，真空環(huán)境至少可分為真空和超高真空，真空度達(dá)到10^-6mbar，即為中等真空環(huán)境，而真空度達(dá)到10^-9mbar，即可稱為超高真空。

XD731系列壓電納米定位臺(tái)是專為真空應(yīng)用環(huán)境而設(shè)計(jì)，它的真空兼容度可達(dá)10^-7mbar。它可同時(shí)在X、Y、Z三個(gè)方向進(jìn)行納米級(jí)位置調(diào)整，具有優(yōu)秀的靈活性。

•三維XYZ運(yùn)動(dòng)

•真空兼容

•外形緊湊

•可選配閉環(huán)傳感器

•真空環(huán)境三維快速掃描

•納米定位

•生物技術(shù)

•量子測量

XD731系列真空三維壓電納米定位臺(tái)可選配閉環(huán)傳感器，經(jīng)過實(shí)測，在閉環(huán)條件下，驅(qū)動(dòng)控制電壓與實(shí)際位移間的曲線如下圖所示。

經(jīng)過實(shí)測，XD731系列閉環(huán)真空壓電納米定位臺(tái)的空載諧振頻率大于400Hz，加載250g負(fù)載情況下的諧振頻率大于150Hz。

芯明天公司接受各類真空版本壓電產(chǎn)品的定制。

根據(jù)用戶提供的真空參數(shù)需求及真空條件，芯明天基于柔性撓曲機(jī)械設(shè)計(jì)一維或多維的壓電納米定位臺(tái)，在設(shè)計(jì)過程，既保證參數(shù)的達(dá)標(biāo)，并著重考慮真空條件下的材料選擇，不對真空環(huán)境產(chǎn)生不利影響，并使每個(gè)運(yùn)動(dòng)軸的運(yùn)動(dòng)控制精度達(dá)到最佳狀態(tài)。

而真空實(shí)驗(yàn)環(huán)境的空間通常會(huì)受限，芯明天不僅在參數(shù)、材料上*優(yōu)化，并在外觀、尺寸等方面進(jìn)行*優(yōu)化。

為保證真空度及更好的工作狀態(tài)，真空環(huán)境中壓電納米定位臺(tái)與真空腔外的壓電控制器間需通過真空法蘭進(jìn)行連接。芯明天公司可為用戶配備各種規(guī)格尺寸的真空法蘭，為用戶在真空環(huán)境下的定位系統(tǒng)安裝提供便利。

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