芯明天壓電偏擺臺(tái)的優(yōu)勢(shì)與選型
芯明天軟件控制壓電控制器是指通過(guò)上位機(jī)軟件控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)，具有操作方便、數(shù)據(jù)精準(zhǔn)、軟件支持二次開(kāi)發(fā)等優(yōu)點(diǎn)。用于驅(qū)動(dòng)控制壓電納米定位產(chǎn)品，如壓電促動(dòng)器、壓電納米定位臺(tái)、壓電物鏡定位器、壓電偏轉(zhuǎn)鏡、壓電偏擺臺(tái)等。
激光束偏轉(zhuǎn)及其掃描在半導(dǎo)體加工、軍事探測(cè)、航空航天、生物醫(yī)學(xué)、納米科學(xué)研究等領(lǐng)域得到了越來(lái)越多的應(yīng)用，同時(shí)對(duì)其性能要求也越來(lái)越高，受其體積，掃描頻率，掃描精度，掃描分辨率等諸多因素的制約。通過(guò)我公司壓電快速偏擺臺(tái)可**的解決以上問(wèn)題。
基于壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的快速偏擺臺(tái)具有很高的諧振頻率，掃描角度小、分辨率高、線(xiàn)性度好，一般應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)、光束跟蹤和穩(wěn)定等需要快速響應(yīng)和小角度偏轉(zhuǎn)的領(lǐng)域。
壓電偏擺臺(tái)具有更快的加速度和更高的帶寬，具有零摩擦和零粘力的鉸鏈導(dǎo)向，并且導(dǎo)向精確性?xún)?yōu)良，采用傳感器的閉環(huán)系統(tǒng)，具有很高的精確度。
壓電偏擺臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器直接驅(qū)動(dòng)，多用于圖象處理/穩(wěn)定、激光掃描、通信、光線(xiàn)偏轉(zhuǎn)、光束偏轉(zhuǎn)/穩(wěn)定等系統(tǒng)。
哈爾濱芯明天科技有限公司提供的壓電陶瓷偏擺臺(tái)具有體積小、位移分辨率高、頻響高、無(wú)噪聲、不發(fā)熱等特點(diǎn)。且已經(jīng)過(guò)多家科研院所測(cè)試，驗(yàn)證了壓電偏轉(zhuǎn)臺(tái)分辯率高，重復(fù)定位精度高，在要求偏轉(zhuǎn)角度為mrad量級(jí)、分辨率要求μrad量級(jí)的激光掃描系統(tǒng)中表現(xiàn)出很好的特性。
壓電偏擺臺(tái)型號(hào)選擇請(qǐng)參考下表
型號(hào) | 軸 | 角度范圍 | 分辨率 |
S50.U0C/K | θx | 0.19mrad（≈39秒） | - |
S50.U0C/K-D1 | θx | 0.5mrad（≈100秒） | 0.01μrad（＜0.01秒） |
S50.UR1S/K | θx、θz | 1.3mrad（≈268秒）/軸 | 0.03μrad（＜0.01秒） |
S51.ZT1S/K | θx、θy、Z | ±1.1mrad（≈±220 秒）/軸 100μm | 0.05μrad（≈0.01 秒） 4nm |
S51.ZT1S/K-C1 | θx、θy、Z | ±1.1mrad（≈±220秒）/軸 110mrad | 0.05μrad（≈0.01 秒） 4nm |
S54 | θx、θy | ±1mrad（≈±200秒）/軸 | 0.05μrad（≈0.01秒） |
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