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新品介紹|XD107系列壓電掃描臺(tái) - 三維納米運(yùn)動(dòng)

更新時(shí)間： 2022-07-20

XD107系列壓電掃描臺(tái)是一款定制設(shè)計(jì)的三維運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，具有特殊的負(fù)載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對準(zhǔn)、納米聚焦、測量等應(yīng)用。

XD107系列壓電掃描臺(tái)內(nèi)部采用機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動(dòng)原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷、無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)XY向100μm/軸、Z向80μm位移。具有非常高的控制精度，分辨率和穩(wěn)定性都可達(dá)nm級，定位響應(yīng)時(shí)間也可達(dá)ms級。

該壓電掃描臺(tái)可根據(jù)應(yīng)用需求選配閉環(huán)傳感器，以獲取更高的精度。

產(chǎn)品特點(diǎn)

•XYZ三維運(yùn)動(dòng)

•行程可達(dá)100μm

•承載能力0.4kg

•中心通孔50×50mm

產(chǎn)品應(yīng)用

•掃描顯微鏡

•掩模/晶圓定位

•干涉、度量衡學(xué)

•生物技術(shù)

•微操作

引線連接器

XD107系列壓電掃描臺(tái)的連接器共有2組，每組有3個(gè)，一組用于電壓驅(qū)動(dòng)信號(hào)的傳輸，一組用于傳感反饋信號(hào)的傳輸。連接器的配置主要取決于所選配的壓電控制器的連接器類型。XD107系列的連接器是為了匹配芯明天E00/E01系列壓電控制器（下方右圖），若更換其他壓電控制器，可更換為其他相應(yīng)的連接器類型。