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干涉掃描中的中空式三維壓電偏轉(zhuǎn)鏡

更新時間: 2021-08-16

S23.ZT1K系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡為θx、θy偏轉(zhuǎn)/俯仰及Z軸升降臺,臺體中心通孔,產(chǎn)品體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊,可以實現(xiàn)的偏轉(zhuǎn)范圍為1.5mrad, Z軸直線運動行程為10μm,產(chǎn)品為開環(huán)版本,具有非常高的分辨率及響應(yīng)速度,是干涉掃描移相的理想選擇。

 

特點

• θx、θy 偏轉(zhuǎn),Z 軸升降

• 中心通孔:?10mm

• Z向行程10μm

• 偏轉(zhuǎn)角度可達(dá)1.5mrad/軸

• 溫度穩(wěn)定性高

 

應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定

• 激光掃描/光束偏轉(zhuǎn)

• 主動及自適應(yīng)光學(xué)

• 光學(xué)濾波器

• 光束穩(wěn)定

 

中心通孔 高動態(tài)性 

SS23.ZT1K壓電偏轉(zhuǎn)鏡為多軸俯仰升降臺,產(chǎn)品體積為?20×19.5mm, 可以實現(xiàn)θx、θy軸1.5mrad的偏轉(zhuǎn),Z軸10μm的升降。具有非常高的分辨率及亞毫秒的響應(yīng)速度,三角架結(jié)構(gòu)設(shè)計具有很寬的使用溫度范圍。臺體中心帶有通孔,孔徑為?10mm,適用于透光應(yīng)用,如光過濾等。

 

可配套鏡片轉(zhuǎn)接座

SS23.ZT1K可選擇配套鏡片轉(zhuǎn)接座,用于鏡片的安裝與固定。

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技術(shù)參數(shù)

型號S23.ZT1K

運動自由度 θx、θy、Z

θx、θy偏轉(zhuǎn)角度(0~120V)1.2mrad(≈240"

Z向直線行程(0~120V)8μm

θx、θy 偏轉(zhuǎn)角度(0~150V)1.5mrad(≈300"

Z向直線行程(0~150V)10μm

θx、θy偏轉(zhuǎn)分辨率0.02μrad(<0.01"

Z 向位移分辨率0.1nm

空載諧振頻率θx6.9/θy6.9/Z16.5kHz

空載階躍時間0.5ms

靜電容量0.5μF/軸

材質(zhì)

重量80g

 

推薦控制器

SS23.ZT1K壓電偏轉(zhuǎn)鏡θx、θy偏轉(zhuǎn)及Z軸升降開環(huán)運動機構(gòu),可配套芯明天三通道E70.C3K開環(huán)壓電控制器,實現(xiàn)精密運動控制。

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