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S38系列小體積、高動(dòng)態(tài)壓電偏轉(zhuǎn)鏡

更新時(shí)間: 2021-06-07

S38系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡為小體積的θx、θy二維偏轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái),具有非常小巧的外形結(jié)構(gòu)同時(shí)能夠帶動(dòng)鏡片快速響應(yīng),提供頂端面的高精度角度運(yùn)動(dòng),與其他執(zhí)行器相比,柔性鉸鏈導(dǎo)向的壓電偏轉(zhuǎn)平臺(tái)可提供更高的加速度,使階躍響應(yīng)時(shí)間在亞毫秒范圍,可帶載小型鏡片做快速二維光路偏轉(zhuǎn)調(diào)節(jié),是光路調(diào)整、激光掃描等應(yīng)用的理想選擇。

 

特性

· θx、θy 二維偏轉(zhuǎn)

· 可選行程1.5或3mrad

· 小體積,外徑僅20mm

· 高諧振頻率

 

高動(dòng)態(tài)、高穩(wěn)定性、閉環(huán)高精度

S38偏轉(zhuǎn)鏡結(jié)構(gòu)緊湊,內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電促動(dòng)器,集成在柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng),提供了更好的性能及可靠性。在機(jī)械結(jié)構(gòu)的合適位置采用應(yīng)變傳感器來(lái)得到定位精度,同時(shí)他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號(hào),傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩(wěn)定性。

 

/閉環(huán)曲線

S38.T1開/閉環(huán)曲線。

 

閉環(huán)線性度曲線

S38.T1S閉環(huán)線性度曲線。

技術(shù)參數(shù)

型號(hào):S38.T1

運(yùn)動(dòng)自由度:θx、θy

行程范圍@120V:1.2mrad/軸

行程范圍@150V:1.5mrad/軸

閉環(huán)傳感器:SGS

閉/開環(huán)分辨率:0.5/0.02μrad

閉環(huán)線性度:0.3%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.1%F.S.

空載諧振頻率:7000Hz

靜電容量:1.6μF/軸

重量:50g(不含線)

 

型號(hào):S38.T2

運(yùn)動(dòng)自由度:θx、θy

行程范圍@120V:2.4mrad/軸

行程范圍@150V:3mrad/軸

閉環(huán)傳感器:SGS

閉/開環(huán)分辨率:1/0.04μrad

閉環(huán)線性度:0.4%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.2%F.S.

空載諧振頻率:2000Hz

靜電容量:3.6μF/軸

重量:60g(不含線)

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