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N31系列直線壓電馬達(dá),行程可達(dá)100mm!

更新時間: 2021-05-29

N31系列直線壓電馬達(dá),內(nèi)部采用 PZT 壓電式驅(qū)動,直線運動行程可選 25、50、100mm,可達(dá)亞納米級分辨率??蛇x配閉環(huán)伺服傳感器(增量式編碼器),具有更高的定位精度??蛇x移動臺面。

 

特點

• 大出力

• 閉環(huán)誤碰后自動歸位

• 上電自動找零位

• 可選光柵數(shù)字閉環(huán)

• 采用耐磨材料,真空無磁兼容

應(yīng)用領(lǐng)域

• 工業(yè)級精密定位

• 半導(dǎo)體技術(shù)/測試

• 晶圓檢測

• 平版印刷

• 納米壓印

• 納米計量學(xué)

• 在強磁場和真空中運動

大出力
N31系列直線壓電馬達(dá)的主動推拉力可達(dá)50N,被動保持力達(dá)60N。并且,N31水平放置時,可承載10kg負(fù)載下進行高精度運動。

 增量式編碼器提高精度
N31可選配增量式編碼器作為閉環(huán)傳感器,可提高直線運動的精度。

 斷電自鎖、自動找零、自動歸位
N31在斷電后具有自鎖功能,且再次上電時,會自動找零位。在使用中,若有誤碰情況,N31會自動調(diào)節(jié)歸位。

 

 耐磨材料

 N31直線壓電馬達(dá)采用高耐磨材料,壽命達(dá)千米以上。

 配套控制器

E71系列壓電控制器是專為驅(qū)動N31直線壓電馬達(dá)而設(shè)計,它是由上位機數(shù)字控制,運動速度可調(diào),采用逼進式到達(dá)目標(biāo)位置的設(shè)定方式。

 

N31技術(shù)參數(shù)

型號:N31直線壓電馬達(dá)

運動自由度:X

集成傳感器類型:增量式編碼器

標(biāo)稱行程范圍:25mm、50mm、100mm

速度上線:10mm/s

閉環(huán)分辨率:<10nm

開環(huán)分辨率:<0.1nm

/拉力(主動):50N

保持力(被動):60N

工作溫度:0~50℃

材質(zhì):鋁,不銹鋼

電纜長度:1.5m

 

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