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大行程三維精密壓電平臺

更新時間: 2021-05-06

P12.XY500Z800為大行程XYZ三維運動掃描臺,平臺采用機構(gòu)放大設(shè)計原理,中心具有通孔,非常適用于近場掃描、共焦顯微等應(yīng)用。該系列掃描臺XY軸程可達500μm,Z軸直線運動行程可達800μm。

 

中心通孔適配器為標準螺紋牙W0.8×1/36",便于與顯微鏡集成安裝。可匹配蔡司、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。平臺內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。FEA使其設(shè)計具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動最小化。開環(huán)、閉環(huán)可選,真空版本可選。

特點

 XYZ三維直線運動

• XY行程500μm,Z向行程800μm

 適用于物鏡的三維定位調(diào)節(jié)

 可定制真空版本

 

開閉環(huán)曲線

P12.XY500Z800 XY軸電壓位移開閉環(huán)曲線。

 

技術(shù)參數(shù)

型號P12.XY500Z800

運動自由度XYZ

XY行程范圍(0~150V)500μm/軸

Z行程范圍(0~150V)800μm

閉環(huán)傳感器類型SGS

XY軸/開環(huán)分辨率20/5nm

Z軸/開環(huán)分辨率30/8nm

XY靜電容量28.8μF/軸

Z靜電容量43.2μF

承載能力250g

重量1000g(不含線)

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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