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大行程三維精密壓電平臺(tái)

更新時(shí)間: 2021-05-06

P12.XY500Z800為大行程XYZ三維運(yùn)動(dòng)掃描臺(tái),平臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,中心具有通孔,非常適用于近場(chǎng)掃描、共焦顯微等應(yīng)用。該系列掃描臺(tái)XY軸程可達(dá)500μm,Z軸直線運(yùn)動(dòng)行程可達(dá)800μm。

 

中心通孔適配器為標(biāo)準(zhǔn)螺紋牙W0.8×1/36",便于與顯微鏡集成安裝??善ヅ洳趟?、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。平臺(tái)內(nèi)部采用有限元分析(FEA)優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。FEA使其設(shè)計(jì)具有盡可能高的剛度,并使線性和角度跳動(dòng)最小化。開環(huán)、閉環(huán)可選,真空版本可選。

特點(diǎn)

 XYZ三維直線運(yùn)動(dòng)

• XY行程500μm,Z向行程800μm

 適用于物鏡的三維定位調(diào)節(jié)

 可定制真空版本

 

開閉環(huán)曲線

P12.XY500Z800 XY軸電壓位移開閉環(huán)曲線。

 

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)P12.XY500Z800

運(yùn)動(dòng)自由度XYZ

XY行程范圍(0~150V)500μm/軸

Z行程范圍(0~150V)800μm

閉環(huán)傳感器類型SGS

XY軸/開環(huán)分辨率20/5nm

Z軸/開環(huán)分辨率30/8nm

XY靜電容量28.8μF/軸

Z靜電容量43.2μF

承載能力250g

重量1000g(不含線)

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