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P11.Z100為小體積一維Z向壓電平移臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，機(jī)構(gòu)放大式驅(qū)動原理，內(nèi)置高性能壓電陶瓷，可實現(xiàn)100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達(dá)納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點(diǎn)。

壓電定位臺的控制精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電定位臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易于集成。

特點(diǎn)

• 一維Z向運(yùn)動

• 位移可達(dá)100μm

• 體積小巧

• 毫秒級響應(yīng)時間

• 真空版本可選

閉環(huán)版本定位精度高 響應(yīng)速度快

P11.Z100壓電納米定位臺可以選擇開環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本采用高精度傳感器對位置進(jìn)行實時檢測反饋，配置芯明天E00/E01、E52/E53等系列閉環(huán)壓電控制器可實時對位移進(jìn)行精密調(diào)整，實現(xiàn)納米級的精密定位控制。

P11.Z100系列壓電納米定位臺的響應(yīng)速度快，配套E52系列壓電控制器可實現(xiàn)0.8ms的階躍時間。

宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)

P11.Z100配套宏動機(jī)構(gòu)，可組成毫米級行程，納米級分辨率的宏微復(fù)合機(jī)構(gòu)平臺。

技術(shù)參數(shù)

型號：P11.Z100

運(yùn)動自由度：Z

行程范圍（0~120V）：80μm

行程范圍（0~150V）：100μm

閉環(huán)傳感器類型：SGS

閉/開環(huán)分辨：7/4nm

閉環(huán)線性度：0.05%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度：0.02%F.S.

俯仰/偏航/滾動：<10μrad

推/拉力：30/10N

運(yùn)動方向剛度：0.3N/μm

空載諧振頻率：0.3kHz

閉/開環(huán)空載階躍時間：10/0.8ms

承載能力：0.8kg

靜電容量：1.8μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：100g