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XY中空式大行程直線壓電掃描臺(tái)

更新時(shí)間: 2020-10-19

P17系列壓電掃描臺(tái)是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應(yīng)用而研發(fā)設(shè)計(jì)的二維掃描臺(tái)。臺(tái)體采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理,內(nèi)置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5μm的掃描范圍,通光孔為60×60mm,在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

特點(diǎn)

XY二維運(yùn)動(dòng),位移可達(dá)187.5μm

 承載能力1kg

 通孔尺寸:60×60mm

 分辨率可達(dá)5nm

 可選配閉環(huán)傳感器

 

典型應(yīng)用

• 圖像處理與穩(wěn)定

 掃描顯微

 干涉/計(jì)量

 表面檢測(cè)

 晶圓定位

 微操作

 

頻率負(fù)載曲線

穩(wěn)定性好 響應(yīng)速度快

P17系列壓電掃描臺(tái)為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)快速、高精度掃描臺(tái),可以實(shí)現(xiàn)XY軸187.5×187.5μm的位移行程,優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)無摩擦、導(dǎo)向精度高、響應(yīng)速度快、響應(yīng)時(shí)間可達(dá)5毫秒。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋,與E00/E01系列閉環(huán)控制器配套使用,具有非常高的穩(wěn)定性。臺(tái)體中心60×60mm大通孔,適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微操作等應(yīng)用。

 

階躍時(shí)間

P17.XY200S負(fù)載10g達(dá)滿行程的響應(yīng)時(shí)間約30ms

應(yīng)用實(shí)例

P17系列壓電掃描臺(tái)適用于需要大行程高精度的應(yīng)用,該產(chǎn)品已經(jīng)成功應(yīng)用于半導(dǎo)體測(cè)試、表面結(jié)構(gòu)分析、顯微成像等領(lǐng)域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位,可帶動(dòng)晶圓做XY軸187.5μm行程范圍的納米級(jí)精密定位。

 

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