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電容閉環(huán)快速刀具微納米壓電定位系統(tǒng)!

更新時間: 2019-11-27

基于快速刀具伺服FTS系統(tǒng)的單點(diǎn)車削是加工光學(xué)自由曲面的重要方法之一,而傳統(tǒng)的直線刀具伺服的工作頻率很低,并且限制了加工的面形的復(fù)雜度和加工效率。工業(yè)的快速發(fā)展要求非常高的加工精度、復(fù)雜度及效率,目前比較成熟的FTS技術(shù)之一為PZT壓電促動直線伺服系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)微米級位移、納米級精度及毫秒級高頻響應(yīng)。

為解決部分快刀加工問題,芯明天專門設(shè)計研發(fā)了P93系列快速刀具定位臺及控制系統(tǒng),它采用PZT壓電陶瓷驅(qū)動,并使用電容式閉環(huán)傳感器,具有非常高的定位精度,可達(dá)幾納米。

P93系列快速刀具定位臺及E01.D1壓電控制器

該壓電快速刀具定位系統(tǒng)的控制原理是通過模擬或數(shù)字控制輸入信號,控制E01.D1壓電控制器輸出控制電壓,施加到P93快速刀具定位臺,再由定位臺內(nèi)部的電容傳感器實(shí)時檢測定位臺的運(yùn)動位移,將電容傳感信號反饋到E01.D1的電容傳感模塊,再經(jīng)過E01.D1的伺服傳感模塊進(jìn)行信號處理,再對輸出電壓進(jìn)行調(diào)節(jié),該閉環(huán)控制的響應(yīng)時間在幾毫秒至十幾毫秒間。

技術(shù)參數(shù)

快速刀具定位臺型號:P93.X70C

標(biāo)稱行程范圍:65μm@120V

行程范圍:81μm@150V

傳感器:CAP

閉/開環(huán)分辨率:7/3nm

閉環(huán)線性度:0.05%F.S.

閉環(huán)重復(fù)定位精度:0.03%F.S.

俯仰/偏航/滾動:<15μrad

推/拉力:400/50nm

運(yùn)動方向剛度:5N/μm

空載諧振頻率:0.15kHz

閉/開環(huán)空載階躍時間:10/7ms

閉環(huán)空載工作頻率:50Hz@10%行程

閉環(huán)空載工作頻率:100Hz@行程

承載能力:20kg

靜電容量:15μF

材質(zhì):

重量:4kg

工作溫度:10~50℃

壓電控制器型號:E01.D1C

通道數(shù):單通道

輸出電壓:0~120V/150V

帶寬:10kHz

傳感輸出電壓:0~10V

自發(fā)波形:正弦/方/三角/鋸齒波

液晶鍵盤控制

上位機(jī)軟件控制

VC++,Matlab,Labview等

RS-232、RS-422、USB通信接口

支持二次開發(fā)

尺寸圖

全國統(tǒng)一客服電話:

17051647888

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