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P15 壓電掃描臺是快速、高精度的三軸掃描和納米定位臺，具有非常高的直線度。中心通孔66×66 mm，非常適于透射光應(yīng)用，如近場掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。P15 壓電掃描臺運(yùn)動行程為300μm/ 軸，它的內(nèi)部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線切割撓曲鉸鏈結(jié)構(gòu)。 FEA 使其設(shè)計具有盡可能高的剛度，并使線性和角度跳動小化。

特點(diǎn)

• 三維運(yùn)動 

• 行程范圍為 300μm/ 軸 

• 可選配閉環(huán)傳感器

• 無摩擦、高精度撓性導(dǎo)向系統(tǒng) 

• 掃描平整度高 

• 通孔尺寸 66×66mm

應(yīng)用

掃描顯微鏡、掩模 / 晶圓定位、干涉、度量衡學(xué)、生物技術(shù)、微操作等。

可選配閉環(huán)反饋傳感器

P15 壓電掃描臺可選配閉環(huán)反饋傳感器，可提供更高的定位精度，非常適合高精度定位應(yīng)用。

技術(shù)參數(shù)

注：以上參數(shù)是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。大驅(qū)動電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長期使用，建議驅(qū)動電壓在0~120V。

帶載階躍時間